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EUV这条路,我们不追了!

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上沪,国际半导体大会主会场。

  上午九点。

  原本该是热闹的产业大会,此刻压得像战前动员。

  会场外,展板还写着“国产替代”“先进制造”“协同攻关”。

  会场内,所有人的脸都不好看。

  美国封锁令正式文本已经公布。

  名单比传闻更长。

  芯片、EDA、光刻设备、精密仪器、特种气体、高纯材料,一刀切下来,连边角料都不想给华夏留。

  台上,一个老专家正在汇报。

  “高端光刻机,我们目前最大的短板,仍然是核心物镜系统。”

  “浸没式光路稳定性不足。”

  “双工件台纳米级同步还没完全打穿。”

  “光刻胶、掩膜版、特种气体、缺陷检测,也都有瓶颈。”

  他说完,台下没有掌声。

  不是不尊重,是大家心里都堵。

  一个晶圆厂负责人低声问旁边人:

  “你们库存还能撑多久?”

  “光刻胶四十六天。”

  “特气两个月。”

  “EDA授权呢?”

  “最麻烦。”

  “美国那边把云端许可卡住,我们几个项目可能要停。”

  手机厂代表脸色发青。

  “下半年旗舰怎么办?”

  “降规格?”

  “你先别说旗舰,能不能按时流片都是问题。”

  后排两个设备企业负责人压低声音争论。

  “现在转低端工艺还来得及。”

  “成熟制程也得设备维护。”

  “备件卡住,产线一样疼。”

  “那怎么办?喊口号?”

  “你能把EUV喊出来?”

  这句话一落,周围几个人都不说话了。

  台上另一名专家提到国产替代。

  “我们要有信心。”

  “只要全产业协同,必然能——”

  他自己说到一半,也停了。

  会场里的工程师太多了。

  大家不是不爱听鼓劲。

  大家是太懂工程。

  差距不是喊两句口号就能缩短的。

  一个高校教授叹了口气。

  “DUV多重曝光还能硬撑一阵。”

  “可越往下走,成本、良率、周期,全会把人拖死。”

  “EUV这座山,绕不开。”

  就在这时,会场侧门忽然打开。

  一名主办方负责人快步走进来,脸色变了又变。

  主持人看见他递来的纸条,手都抖了一下。

  “各位。”

  “会议临时调整。”

  “请所有媒体记者立即离场。”

  “所有手机、录音设备、智能手表,统一封存。”

  台下瞬间炸锅。

  “怎么回事?”

  “又有新名单?”

  “美国追加制裁了?”

  “不会是哪个企业被点名了吧?”

  主办方负责人深吸一口气。

  “最高级别通知。”

  “许燃总师,临时到场。”

  轰!

  整个会场像被一颗雷砸中。

  刚才还愁眉苦脸的企业老板,一下全站了起来。

  工程师们伸长脖子往门口看。

  几个老院士互相对视,眼里压着惊色。

  “许燃?”

  “他不是在303所搞烛龙和羲和吗?”

  “他来半导体大会干什么?”

  “还能干什么?救场啊!”

  “别乱说,许总也不是神。”

  旁边一个年轻工程师忍不住回嘴:

  “祝融电池发布前,你们也说电池不是神。”

  “朱雀首飞前,你们也说地面起飞不现实。”

  “现在呢?”

  那人张了张嘴,没再接话。

  安保动作快得吓人。

  记者被请出场。

  手机封存。

  外联切断。

  会场门口,几名国安人员笑得客气,手上却一点都不含糊。

  十分钟后。

  侧门再次打开。

  许燃走进会场。

  他穿着黑色夹克,脸上带着熬夜后的疲惫,眼神却清醒。

  简瑶跟在他左侧,手里拿着加密终端。

  周群站在右侧,负责现场链路。

  许燃手边,是那只黑色加密箱。

  会场所有人都站了起来。

  许燃没有寒暄。

  他走上台,把箱子放到主控桌旁。

  第一句话,就把整个会场说懵了。

  “EUV这条路,我们不追了。”

  有个企业老板刚站起来,听见这话,腿一软,又坐了回去。

  一名老专家脸色瞬间发白。

  “许总,你这话是什么意思?”

  “EUV不追,高端制程怎么办?”

  “先进芯片怎么办?”

  “我们总不能把未来让出去。”

  台下有人急了。

  “许总,传统路线差距是大,可不追不就等于放弃吗?”

  “我们还在攻DUV多重曝光,还在搞国产光刻胶。”

  “现在美国封锁刚落地,你说不追,外面会怎么解读?”

  许燃抬手,示意他们坐下。

  “我说不追,不是不要高端芯片。”

  “是不再按他们画好的路线交学费。”

  他点开简瑶递来的终端。

  主屏亮起。

  一张巨大的结构图展开。

  不是光刻机,也不是晶圆产线。

  是烛龙底座的一角。

  环形光场阵列、负折射物镜组、原子源控制腔、三维势阱成像模块。

  每一部分都只露出局部。

  可对现场这些半导体老兵来说,已经够吓人了。

  一个设备厂总师猛地站起来。

  “这不是曝光系统!”

  周群接话。

  “对。”

  “它不是用光去刻图案。”

  “它是用光场去摆位置。”

  许燃看向台下。

  “传统光刻是什么?”

  “光源、掩膜版、光刻胶、刻蚀、沉积,一层一层往上叠。”

  “每一步,都有人能卡你脖子。”

  “光源他们卡。”

  “物镜他们卡。”

  “光刻胶他们卡。”

  “掩膜版他们卡。”

  “EDA他们也卡。”

  “你越追,就越像在替他们修盘山路。”

  “他们守着收费站,你跑得越快,交得越多。”

  台下不少人脸色涨红。

  这话扎心。

  可扎得准。

  许燃指着屏幕上的烛龙底座。

  “所以,我们不追收费站。”

  “我们换路。”

  简瑶接过话,声音清亮。

  “烛龙路线的核心,是三维原子级势阱阵列。”

  “简单说,我们不是把图案刻在材料上。”

  “我们先用量子光场建立一组能量位置。”

  “目标原子进入后,会被势阱引导到指定坐标。”

  “位置不对,能量不匹配,会被边界排出去。”

  “位置正确,系统锁定。”

  一个高校教授睁大眼。

  “原子自组装?”

  许燃点头。

  “更准确地说,是受控原子自组装。”

  周群把下一页切出来。